產品及應用
產品分類
磷化銦多晶合成爐
◎ 詳情介紹
一、設備概述：
主要應用于 3-6 英寸磷化銦、磷化鎵III-V 族化合物半導體晶體材料多晶合成工藝，自動控制系統。
二、設備參數類型：
三、設備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
2★采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、氣體流量、閥門等進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間；
4★氣體流量采用高壓閥精確控制，采用模擬信號閉環(huán)控制，強弱電分開，氣體打開具有緩啟動功能；
5★具有多種報警功能及安全保護功能；
6★恒溫區(qū)自動調整，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
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◎ 企業(yè)簡介
青島育豪微電子設備有限公司創(chuàng)建于2008年，是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術企業(yè)，育豪公司致力于電加熱爐設備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領域，產品服務于各類電子器件行業(yè)、半導體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關領域。
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育豪公司系國家級高新技術企業(yè)，省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標注冊權、進出口經營權，已通過ISO9001質量管理體系認證，擁有各種專利50+項。
◎ 企業(yè)資質
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