產(chǎn)品及應(yīng)用
產(chǎn)品分類
◎ 詳情介紹
立式氧化爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于6-12英寸晶圓芯片的高溫干/濕氧化、DCE氧化、摻氮氧化、擴(kuò)散、GPP、退火、合金等工藝。
氧化工藝是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚诠杵砻嫘纬裳趸さ倪^(guò)程，可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。
該設(shè)備系統(tǒng)是一個(gè)立式單室爐管，過(guò)程處理高度自動(dòng)化。它主要包括主機(jī)、電源柜、氣路柜、加熱系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)等部件。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
1★具有強(qiáng)大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
2★采用可靠性工控機(jī)+PLC模式，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過(guò)程自動(dòng)化；
3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制，避免馬達(dá)丟步，運(yùn)行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運(yùn)行完一個(gè)周期，自動(dòng)校準(zhǔn)位置，有效防止定位偏差；
6★氣體流量控制精確，采用模擬信號(hào)閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開(kāi)，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開(kāi)具有緩啟動(dòng)功能；
7★具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
8★恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，串級(jí)控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
◎ 企業(yè)簡(jiǎn)介
青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年，是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場(chǎng)、石墨治具加工領(lǐng)域，產(chǎn)品服務(wù)于各類電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽(yáng)能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。
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育豪公司系國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊(cè)權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán)，已通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，擁有各種專利50+項(xiàng)。
◎ 企業(yè)資質(zhì)
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