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砷化鎵多晶合成爐

◎ 詳情介紹

一、設(shè)備概述:

主要應用于 3-6 英寸 砷化鎵III-V 族化合物半導體晶體材料多晶合成工藝,自動控制系統(tǒng)。


二、設(shè)備參數(shù)類型:

設(shè)備性能指標

1

操作方式

手動

2

管路數(shù)

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

多晶合成工藝

5

控溫精度

±1℃/>1280℃恒溫區(qū)內(nèi)

6

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機+PLC

7

報警保護:

具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能


三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,windows界面,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;

2★采用可靠性工控機+PLC模式,對爐溫進行全自動控制;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間;

4★具有多種報警功能及安全保護功能;
5★恒溫區(qū)自動調(diào)整,可準確控制反應管的實際工藝溫度;


◎ 企業(yè)簡介

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領(lǐng)域,產(chǎn)品服務于各類電子器件行業(yè)、半導體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。

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育豪公司系國家級高新技術(shù)企業(yè),省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標注冊權(quán)、進出口經(jīng)營權(quán),已通過ISO9001質(zhì)量管理體系認證,擁有各種專利50+項。

◎ 企業(yè)資質(zhì)

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