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水冷式加熱爐體

◎ 詳情介紹

一.產(chǎn)品概述:

水冷式加熱爐體主要應(yīng)用于:臥式擴(kuò)散/氧化/退火爐等加熱設(shè)備上的關(guān)鍵加熱部件,根據(jù)用戶具體工藝要求制作,或按照我公司設(shè)計(jì)制作,可滿足用戶的需求。


二.產(chǎn)品參數(shù)類型:

設(shè)備性能指標(biāo)

1

結(jié)構(gòu)方式

水平

2

控溫點(diǎn)數(shù)

1-9點(diǎn)

3

加熱爐體內(nèi)徑

150-550mm

4

適用工藝

擴(kuò)散(磷擴(kuò)、硼擴(kuò))、氧化(干氧、合成)、玻璃鈍化(GPP)、退火、合金、鋁預(yù)沉積

5

工藝溫度范圍

600-1280℃

6

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

300-3000mm

7

加熱爐絲線徑

1-10mm

8

加熱爐絲品牌

北京首鋼HRE/HYZ、瑞典Kanthal A-1/APM

9

保溫棉材料

摩根 陶瓷含鋯纖維棉

10

外殼材質(zhì)

SUS304/鋁材

11

外皮降溫結(jié)構(gòu)

水冷夾套/銅管


三、產(chǎn)品主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

1★爐體采用優(yōu)質(zhì)高溫加熱爐絲,加熱爐體表面溫度在50℃以內(nèi)。

2★爐體內(nèi)部溫度穩(wěn)定性±0.5度。

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◎ 企業(yè)簡(jiǎn)介

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場(chǎng)、石墨治具加工領(lǐng)域,產(chǎn)品服務(wù)于各類電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽(yáng)能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。

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育豪公司系國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊(cè)權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán),已通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證,擁有各種專利50+項(xiàng)。

◎ 企業(yè)資質(zhì)

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