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真空封焊(脫氧)爐

◎ 詳情介紹

一、產(chǎn)品用途

主要應(yīng)用于 3-6 英寸 砷化鎵III-V 族化合物半導(dǎo)體晶體材料在高真空狀態(tài)下進(jìn)行脫氧封管工藝,自動控制系統(tǒng)。


二、指標(biāo)參數(shù):

設(shè)備性能指標(biāo)

1

工位數(shù)

1管(可依據(jù)實(shí)際生產(chǎn)工藝設(shè)計)

2

額定溫度

1000℃

3

可加工晶體材料尺寸

2-6寸

4

工作真空度

≤10X10-4Pa(可調(diào))

5

報警方式

超溫報警、斷偶報警、真空故障報警、真空室壓力異常報警。

6

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機(jī)+PLC


三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢

1、具備查詢以往測溫記錄;歷史數(shù)據(jù)和溫度曲線。

2、曲線查看功能:具備溫度、氣體、功率、真空度等查看功能;

3、手/自動控制功能:具備溫度,氣體,功率設(shè)定,開關(guān)閥的控制功能;

4、報警查看功能:具備查詢報警類型的功能;

5、功率限定保護(hù):不同的溫度可設(shè)定不同的最高功率;

6、分級管理,不同人員可根據(jù)登陸情況進(jìn)行不同的參數(shù)修改。

7、數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能,可以通過U盤把記錄的溫度,流量數(shù)據(jù)導(dǎo)出到U盤中。

系統(tǒng)硬件具有非常靈活的擴(kuò)充能力,可方便地為各爐體擴(kuò)充推拉舟驅(qū)動控制功能以及氣體流量計控制功能。

下一頁:水平加熱爐體

◎ 企業(yè)簡介

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領(lǐng)域,產(chǎn)品服務(wù)于各類電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。

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育豪公司系國家級高新技術(shù)企業(yè),省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營權(quán),已通過ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證,擁有各種專利50+項(xiàng)。

◎ 企業(yè)資質(zhì)

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