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臥式退火爐

◎ 詳情介紹

一、設備概述:

臥式退火爐設備可應用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領域,適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴散、GPP、退火、合金等工藝。

退火工藝是在中低溫條件下,通入惰性氣體(N2),消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷,優(yōu)化硅片界面質量的一種工藝。


二、設備參數(shù)類型:

設備性能指標

1

操作方式

根據(jù)客戶操作可定左/右手操作

2

管路數(shù)

1-5管

3

加工晶圓尺寸

4-8寸

4

適用工藝

玻璃鈍化(GPP)、退火、合金、鋁預沉積

5

溫度校準功能

具有自動校準溫區(qū)功能,具有預先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統(tǒng)結構

一體工控機+PLC

8

報警保護:

具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能


三、設備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,windows界面,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;

2★采用可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間;

4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;

5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償,避免環(huán)境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾;

6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,避免馬達丟步,運行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差;

7★氣體流量控制精確,采用模擬信號閉環(huán)控制,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能;

8★具有多種報警功能及安全保護功能;
9★恒溫區(qū)自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;

上一頁:臥式氧化爐

◎ 企業(yè)簡介

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青島育豪微電子設備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領域,產品服務于各類電子器件行業(yè)、半導體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關領域。

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育豪公司系國家級高新技術企業(yè),省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標注冊權、進出口經營權,已通過ISO9001質量管理體系認證,擁有各種專利50+項。

◎ 企業(yè)資質

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